На информационном ресурсе применяются рекомендательные технологии (информационные технологии предоставления информации на основе сбора, систематизации и анализа сведений, относящихся к предпочтениям пользователей сети "Интернет", находящихся на территории Российской Федерации)

iXBT.com

33 подписчика

Свежие комментарии

  • Иван Николаев
    Японцы одновременно выпустили три лимитированных серии. Вот кросстрек, плюс импреза, плюс леворг. Кросстрек, конечно,...Представлен новый...
  • Юрий Стенякин
    А если учесть что компания официально ушла с российского рынка то преимущества спорныПредставлена нова...
  • Mikhail Stepanov
    Ха-ха! В то время, как российская гиперзвуковой ракета летит со скоростью около 20 тыс. км. В час!США успешно испыт...

Южнокорейские учёные создали «прозрачную» высокоэнтропийную керамику с рекордной устойчивостью к плазме для полупроводниковой промышленности

Учёные из Южной Кореи разработали новый вид «прозрачной» керамики с высокой устойчивостью к плазме. Это первое в мире достижение такого рода, направленное на увеличение срока службы внутренних компонентов оборудования для травления полупроводников и снижение количества загрязняющих частиц в процессе производства.

Керамические материалы составляют более 90% от всех материалов, используемых во внутренних компонентах оборудования для травления полупроводников. Основная причина их применения – превосходная устойчивость к воздействию плазмы по сравнению с другими материалами. Подобно тому, как корабль ржавеет при контакте с морской водой, плазма, используемая в процессе травления, постоянно взаимодействует с внутренними компонентами оборудования, вызывая коррозию и загрязнение.

Для решения этих проблем традиционно используется керамика. Однако с увеличением уровня интеграции полупроводников процессы травления проводятся во всё более жёстких условиях. Это приводит к более частой замене …

Ссылка на первоисточник
наверх